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堀场汇博隆质量流量控制器

产品概述

本产品为热式质量流量控制器,利用气流流过毛细管,改变毛细管温度分布,造成上下游温差方法,而测得气体质量流量。不同于容积式流量计,其流量精度不受气体压力、环境温度影响。由于上下游温差总是实时反应气流瞬时流量,所以特别适用于过程控制中的气体流量的精密测量和控制。

产品特点

1、可以任意角度安装

2、良好的线性——多段线性补偿

3、快速的响应

4、电磁阀使用寿命≥100万次

5、对零点漂移有效的抑制

6、全球化的零配件供应 ——传感器、分流器、精密元器件日本进口

7、良好的选择性

应用领域

质量流量控制器广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析、化工、环境等行业的气流测量与控制,适用于各种气体,精度高,零漂小,无需矫正可任意角度安装。

基本参数

编号

项目

S48 28/HMT

1

流量规格

 (100,150,200)L/min

2

调节阀类型

电磁调节阀

3

调节阀静止状态

常闭

4

安装角度

任意

5

流量控制范围

5%~100%

6

流量测量范围

0~100%

7

响应时间

2s(T98,设定值的±2% F.S.)

8

工作环境温度

5℃~50℃

9

精度保证温度

15℃~35℃

10

精度

±1.0%F.S.

11

线性精度

±0.5%F.S.

12

重复性

±0.2%F.S.

13

工作压差

(100/150/200)L/min:(100/150/200)~300kPa

14

耐压

3MPa

15

泄漏率

1×10-8 Pa•m3/s (He)

16

接触气体材料

316L,PTFE,Viton氟橡胶

17

管路接头

Swagelok:3/8″ Φ10  VCR:1/2″ VCR:1/4″3/8″

18

供电电源

±15VDC(±5%)  
+15V,<100mA;-15V,<200mA

+24VDC(宽电压+11~+25V),
<350mA(+24VDC供电时)

19

设定信号

(0~5)VDC 输入阻抗>1MΩ

4~20mA;(可定制:1~5V或0~5V)

20

流量输出信号

(0~5)VDC 负载能力≤3mA

 

21

电气接头

D-SUB15,D-SUB9

22

重量(kg)

2.8

其他类型