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堀场汇博隆质量流量控制器

产品概述

本产品为热式质量流量控制器,利用气流流过毛细管,改变毛细管温度分布,造成上下游温差方法,而测得气体质量流量。不同于容积式流量计,其流量精度不受气体压力、环境温度影响。由于上下游温差总是实时反应气流瞬时流量,所以特别适用于过程控制中的气体流量的精密测量和控制。

产品特点

1、高精度

2、快速响应

3、自动调零

4、任意角度安装

应用领域

质量流量控制器广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析、化工、环境等行业的气流测量与控制,适用于各种气体,精度高,零漂小,无需矫正可任意角度安装。

基本参数

项目

S500 (规格Type AR111)

外部密封

氟橡胶

接触气体材料

SUS316L,氟橡胶,磁性不锈钢

调节阀类型

非通电时常闭

满量程流量(N2换算流量)

10,20,30,50,100,200,300,500 mL/min
1,2,3,5,10,20,30 L/min

流量控制范围

2%~100%F.S. (0.1~5V DC)

流量测量范围

0~100%F.S. (0~5V DC)

响应时间(输出电压)

 1秒 (保证 1.5秒以内T98)   

工作环境温度

5~45℃ (精度保证 15~35℃)

流量精度

±1.0%F.S

线性

±0.5%F.S.

重复性

±0.2%F.S.

工作压差

10mL/min~5L/min :50~300kPa(d)
10L/min~30L/min :100~300kPa(d)

最大工作(使用)压力

300kPa(G)

耐压

3MPa(G)

泄漏率

1×10-8Pa?m3/s(He)以下

流量设定信号

0.1~5VDC(2%~100%F.S.)

流量输出信号

0~5VDC(0%~100%F.S.)

供电电源

+15V±5% 100mA以下
-15V±5% 150mA以下

管路接头

1/4inch HM-SWL、1/4inch SWL、φ6mm HM-SWL、1/4inch VCR

安装角度

任意

电气接头

D-Sub 15pin

输入输出阻抗

输入:1MΩ以上  输出:3mA以下

附加功能

Auto-zero、Auto-close

**满量程流量50mL/min一下的响应时间为2S以内

其他类型