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堀场汇博隆质量流量控制器

产品概述

本产品为热式质量流量控制器,利用气流流过毛细管,改变毛细管温度分布,造成上下游温差方法,而测得气体质量流量。不同于容积式流量计,其流量精度不受气体压力、环境温度影响。由于上下游温差总是实时反应气流瞬时流量,所以特别适用于过程控制中的气体流量的精密测量和控制。

产品特点

1、高/低耐压可选

2、最大量程30L/min

应用领域

质量流量控制器广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析、化工、环境等行业的气流测量与控制,适用于各种气体,精度高,零漂小,无需矫正可任意角度安装。

基本参数

编号

项目

S49 33/MT

1

流量规格

(5,10,30,50,100,200,300,500)mL/min
(1,2,3,5,10)  L/min

(15,20,30) L/min

2

调节阀类型

电磁调节阀

3

调节阀静止位置

常闭

4

准确度

± 1.0% F.S

± 2.0% F.S

5

线性   

±1.0 % F.S,±2.0 % F.S

6

重复精度

±0.2  %F.S

7

响应时间

≤8 s(T95)

8

工作压差范围

(50 ~ 300) kPa;  (10~30)L/min (100~300)kPa

9

耐压

3 MPa  ﹑ 10 MPa

10

工作环境温度

5℃ ~ 45℃

11

材料

不锈钢316L

12

标准密封材料

Viton®﹑EPDM,  或其他

13

漏率

1×10-8 Pa.m3/s

14

接头

Ф3mm~Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR),
软管接头Ф4mm~Ф10mm  或其它

15

输入输出信号

0 V ~ +5.00 V
(输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)

16

电源

+15 V   50 mA
-15V  200 mA

17

外形尺寸 mm

134×134×38

18

重量      kg

1.2

其他类型