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堀场汇博隆质量流量控制器

产品概述

本产品为热式质量流量控制器,利用气流流过毛细管,改变毛细管温度分布,造成上下游温差方法,而测得气体质量流量。不同于容积式流量计,其流量精度不受气体压力、环境温度影响。由于上下游温差总是实时反应气流瞬时流量,所以特别适用于过程控制中的气体流量的精密测量和控制。

产品特点

1、橡胶密封

2、高性价比

3、国产产品

应用领域

质量流量控制器广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析、化工、环境等行业的气流测量与控制,适用于各种气体,精度高,零漂小,无需矫正可任意角度安装。

基本参数

编号

项目

S49 32/MT

1

流量规格

(5,10,30,50,100,200,300,500)mL/min
(1,2,3,5,10)L/min

2

调节阀类型

电磁调节阀

3

调节阀静止状态

常闭

4

准确度

±1.5%F.S

5

线性

±1.5%F.S

6

重复精度

±0.2%F.S

7

响应时间

≤8秒(T95)

8

工作压差范围

(50~300)kPa;   (100~300)kPa(10L/min)

9

耐压

3MPa;           10MPa

10

工作环境温度

(5~45)℃

11

材料

不锈钢316L

12

标准密封材料

Viton®,    EPDM,  或其他由用户指定

13

漏率

1×10-8Pa.m3/s

14

接头

Φ6mm~Φ10mm, 1/4″Swagelok。1/4″VCR。或其他由用户指定

15

输入输出信号

(0~+5.00)V (输入阻抗≥100KΩ,负载输出电流能力≤3mA)

16

供电电源

±15V(±5%)(+15V  50mA,  -15V  200mA)

17

外形尺寸mm

130(宽)×102(高)×28(厚)

18

重量kg

0.8

其他类型