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堀场汇博隆质量流量控制器

产品概述

本产品为热式质量流量控制器,利用气流流过毛细管,改变毛细管温度分布,造成上下游温差方法,而测得气体质量流量。不同于容积式流量计,其流量精度不受气体压力、环境温度影响。由于上下游温差总是实时反应气流瞬时流量,所以特别适用于过程控制中的气体流量的精密测量和控制。

产品特点

1、国产产品

2、快速响应

应用领域

质量流量控制器广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析、化工、环境等行业的气流测量与控制,适用于各种气体,精度高,零漂小,无需矫正可任意角度安装。

基本参数

编号

项目

S49 31/MT

S49 31A/MT

1

流量规格

(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min;
(0~1,2,3,5)L/min

2

调节阀类型

电磁调节阀

 

3

调节阀静止状态

常闭

 

4

准确度

±1%F.S(10mL/min~5L/min规格,其余规格≤±2% F.S)

5

线性

±1.0%F.S,±1.5%F.S

6

重复精度

±0.2%F.S

7

响应时间

(3~4)s

8

工作压差范围

(0.05~0.3)MPa;           (0.1~0.3)MPa(10~30)L/min

9

耐压

3MPa;           10MPa

10

工作环境温度

5℃~45℃

11

材料

不锈钢316L

12

标准密封材料

Viton®,    EPDM,  或其他由用户指定

13

漏率

1×10-9atm.mL/s (He)

14

接头

Ф3mm~Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR),
软管接头Ф4mm~Ф10mm  或其他

15

输入输出信号

0V~+5.00V (输入阻抗≥100KΩ,负载输出电流能力≤3mA)

16

供电电源

±15V(±2%)(+15V  50mA,  -15V  200mA)

17

外形尺寸mm

134×134×38

18

重量kg

1.0

其他类型