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堀场汇博隆质量流量控制器

产品概述

本产品为热式质量流量控制器,利用气流流过毛细管,改变毛细管温度分布,造成上下游温差方法,而测得气体质量流量。不同于容积式流量计,其流量精度不受气体压力、环境温度影响。由于上下游温差总是实时反应气流瞬时流量,所以特别适用于过程控制中的气体流量的精密测量和控制。

产品特点

1、可以任意角度安装

2、良好的线性——多段线性补偿

3、快速的响应

4、电磁阀使用寿命≥100万次

5、对零点漂移有效的抑制

6、全球化的零配件供应 ——传感器、分流器、精密元器件日本进口

7、良好的选择性

应用领域

质量流量控制器广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析、化工、环境等行业的气流测量与控制,适用于各种气体,精度高,零漂小,无需矫正可任意角度安装。

基本参数

编号

项目

S48 W/HMT

1

流量规格

最小10mL/min;
最大50L/min

2

调节阀类型

电磁调节阀

3

调节阀静止状态

常闭

4

安装角度

任意

5

流量控制范围

2%~100%

6

准确度

±1.0% S.P.(≥30% F.S.)
±0.30% F.S.(<30% F.S.)
 

7

线性

±0.5%F.S.
 

8

重复精度

±0.2%F.S.
 

9

工作压差范围

(0.05~0.3)MPa(<10L/min);
(0.1~0.3)MPa(10~50)L/min

10

耐压

3MPa          

11

工作环境温度

5℃~45℃

12

精度保证温度

15℃~35℃

13

接触气体材料 

316L,Viton®,PTFE,或其他

14

漏率

<1×10-8Pa·m3/s

15

接头

Swagelok:Φ6mm,1/4″
VCR:1/4″或其他

16

输入信号

数字l:RS485

17

输出信号

数字l:RS485

18

通讯接口

数字:RS485
波特率:4800/9600/19200Bps
Modbus RTU协议从机Protocol slave
设备号可选范围Selectable range of the device number0~15

19

供电电源

±15V(±2%)
(+15V,100mA;-15V ,200mA)

其他类型